Quelles exigences de pureté ultra-élevée régissent les tuyaux de gaz?
Normes semi-F72 pour la finition de surface. Dépasser<5×10⁻¹⁰ torr·L/sec/cm². Particle counts <0.1 particles/cm³ (>0. 1 μm). Teneur en humidité<10 ppb. Metallic impurities <1 ppb.
Comment les soudures de distribution de gaz sont-elles préparées?
Soudage orbital avec argon à ultra-hauteur de pureté. Soudage à double passe pour les lignes critiques. Électropolissant à 0. 25 μm Ra. Passivation avec de l'acide nitrique. Rinçage final avec de l'eau 18,2 MΩ · cm.
Quels tests valident l'intégrité du tuyau de gaz?
Test de fuite d'hélium à 1 × 10⁻⁹ ATM-CC \/ SEC. Analyse des gaz résiduels pour la contamination. Comptage des particules du gaz de purge. Analyse de l'humidité par spectroscopie laser. Certification finale avec du gaz de processus réel.
Comment les armoires à gaz sont-elles connectées aux systèmes de distribution?
Raccords de scellon VCR pour les articulations étanches. Confinement secondaire à purge. Tubes à double paroi pour gaz dangereux. Mise à la terre pour le contrôle statique. ORifices de flux restreint pour la sécurité.
Quelle maintenance empêche la contamination du système de gaz?
Test de fuite annuel de toutes les connexions. Surveillance des particules pendant les changements de gaz. Vérification régulière de la qualité des gaz de purge. Entretien de l'emballage de la vanne. Procédures de contrôle des changements stricts.
